Важное событие для отечественной промышленности: НИИМЭ и НИИТМ (оба входят в ГК «Элемент») впервые в истории российской микроэлектроники разработали кластерные установки для 65-нм техпроцесса на пластинах 200 и 300 мм. При этом речь идёт не о прототипах, а именно о готовом оборудовании — кластерных системах для процессов плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ). Непосредственно НИИМЭ отвечал за разработку технологических процессов и испытание оборудования, на НИИТМ была конструкторская часть и создание самого оборудования. Это действительно важное событие, мимо которого нельзя пройти, сразу по нескольким причинам. Во-первых, разработаны и аттестованы базовые технологические процессы осаждения и травления, которые теперь могут адаптироваться как под существующие фабрики, так и под будущие линии и под развёртывание продвинутых техпроцессов (в т. ч. 28 нм). Во-вторых, 65 нм закрывает самые первоочередные и «болезненные» на текущий момент потребности промышленности, являясь базовым техпроцессом для автопрома, авиации, систем автоматизации и управления. Модульная технологическая платформа от 200 до 300 мм закрывает потребности сразу нескольких поколений производств. При использовании конфигурации оборудования для пластин диаметром 200 мм возможно применение с уже имеющимися у нас проектными нормами — 90, 130, 180, 250 нм. При этом переход на производство на 300-мм пластинах — одна из ключевых задач для отечественной микроэлектроники. 300 мм — международный стандарт, без которого нет экономики современных чипов. И, наконец, главное: Россия впервые получает свой кластерный стандарт оборудования, без которого невозможны современные фабрики. Оборудование кластерного типа позволяет объединять от 2 до 8 технологических установок с общей системой загрузки, что обеспечивает проведение технологических процессов без выгрузки пластин в атмосферную среду помещения. Модульная структура позволяет гибко конфигурировать оборудование в зависимости от потребностей и мощности производств. Все эти факторы влияют на снижение себестоимости продукции и улучшение качества чипов. А если простыми словами — сегодня мы можем смело заявлять, что Россия уверенно вступила на путь перехода из «покупателей современных технологий» в статус их производителей.