Свои да Наши

Новые разработки Минпрома Минпромторг выделил почти 7 млрд руб. на освоение производства в стране пяти установок, необходимых для создания микроэлектроники. Аналогами такого оборудования выступают американские, европейские и японские установки. За 1,99 млрд руб., например, разработают кластерный комплекс нанесения слоев алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Установка должна будет работать с пластинами диаметром 200 мм, по технологии 180-90 нанометров (нм). Она заменит нам американскую Applied Materials 0230-70040 Endura HP PVD или швецарскую Evatec Clusterline 300. Еще 1,61 млрд руб. Минпромторг выделил на разработку автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150, 200 мм. Ее же аналогом выступает американская ARCHER 10 XT производства KLA TENCOR. На разработку и изготовление опытных образцов вертикальных диффузионных печей для высокотемпературной обработки кремниевых пластин до 200 мм Минпром выделил еще 1,52 млрд руб. А на разработку установки лазерного отжига пластин кремния министерство выделило 1,39 млрд руб. И 368,6 млн руб. ведомство выделило на разработку установки автоматической разбраковки кристаллов с пластинами диаметром до 300 мм. Ее аналогом выступает американская Royce AP. Оборудование будет готово в 2028-2030 гг.