Свои да Наши

✅Часть 2. Но есть и хорошие новости Не все так плохо. Все-таки есть отечественные установки, которые покрывают часть цепочки производства. Не всегда их качество правда устраивает, но есть и хорошие примеры. Эпитаксия В 2024 г. «Кремний Эл» приобрел оборудование «Эпиквар-ТМ» фирмы НИИТМ. Она по факту является еще советской установкой, но с современным компьютером и системой управления. «С точки зрения качества техпроцессов нам нужны установки с лучшими характеристики по однородности и равномерности формирования тонких пленок», — говорит Данцев. Осаждение В 2021-2022 гг. были поставлены две ОКР для создания необходимых установок («Изофаз-В» и «Изофаз-Д»). Но «Изофаз-В» работает только с пластинами 200 мм. Хотя «Изофаз-Д» как раз с 100-150 мм готов. И поэтому «Крений Эл» приобрел китайскую установку, которая работает и с 200 мм и с 100 мм сразу. ХМП Пока «Кремний Эл» также использует иностранное и ждет, чтобы «Нанотроника» доработала свою установку для работы с 100 мм пластинами. Установки травления Они есть. И не хуже американских — производитель АО «НТО». Но не все процессы закрыты и пока приходится в некоторых полагаться на Китай. Изготовление фотошаблонов Пока предприятие использует уже купленные немецкие китайские установки. Но их потребности может закрыть и белорусский «Планар». «Поднакопим деньжат и купим», — обещает Данцов. Жидкостные химические отмывки НИИИС им. Седакова предлагают оборудование очень высокого уровня. Диффузионные процессы «Техмашсервис» не только делает качественные, но и дешевле Китая. Тестирование Тоже есть. Лазерная маркировка Наше. Лазерная активация обратной стороны Тоже Россия. Какие выводы: «Кремний Эла», который далеко не один работает с пластинами 100 мм и достаточно зрелыми нормами (востребованными в стране) имеет пока немного возможности закрывать свои потребности российским оборудованием. «Те же китайские производители готовы дорабатывать свои установки, рассчитанные на пластины 200 мм — под 100 и 150 мм, — сетует Данцев. — Стоит перенять этот опыт». Что должно добавлять нам оптимизма: было поставлено немало ОКР и скоро нас ждет больше своего оборудования. И на отечественные микроэлектронные заводы до 2032 г. поступят 122 российских установки для производства микросхем.