Свои да Наши

🇷🇺Что с российским оборудованием для производства чипов? На примере одного предприятия В рамках «Микроэлектроники» был интересный доклад представителя микроэлектронного предприятия «Кремний Эл» о потребности в наших установках. Предприятие работает на пластинах диаметром 100 мм. Большая часть используемого оборудования, естественно, иностранное. А некоторым установкам и по 30 лет. Российских либо нет, либо они не дотягивают, либо не работают с пластинами определенного диаметра. Однако некоторые позиции все таки имеются. ❌Часть 1. Все плохо Фотолитография «Кремний эл» для этого процесса использует установку Canon от 1997 года выпуска! «Да, она до сих пор работает, выдает хоть не свои 350, но 500 нм», — отметил заместитель директора по развитию и новой технике «Кремний Эл» Олег Данцев. Что предлагает наша отрасль: те самые установки белорусского «Планара» и отечественного ЗНТЦ. Однако она не работает с пластинами диаметром 100 мм. Поэтому одно из стратегических предприятий страны использует пока оборудование почти 30 летней давности. Нанесение и проявление фоторезиста Казалось бы, не самая сложная вещь, но ничего достойного российского производства нет. Данцев отметил, что компания еще до санкций успела закупить две корейских и одну японскую установку. Казалось бы, в России сделали степпер, где нанесение и проявление? Нет. Установка контроля критических размеров (CD-SEM) И здесь «Кремний Эл» использует американскую установку 1999 года. Ионная имплантация Две китайские установки Утонение и шлифовка пластин Процесс не такой сложный, но пока российских нет. Поэтому у «Кремний Эла» японские и корейские. Приборы измерения Когда предприятию понадобились профилометр, эллипсометр, установка замера удельных сопротивлений им пришлось искать или китайскую, или покупать что-то из санкционного списка. Благо это оборудование не так сильно контролируется.