Эксперты НИИТМ отчитались о последних разработках на форуме «Микроэлектроника» Начальник отдела перспективных разработок Георгий Ерицян представил основные результаты разработки новых видов технологического оборудования В своём докладе он упомянул уже завершенные опытно-конструкторские работы по созданию кластерных систем плазмохимического травления и осаждения, а также текущие проекты: разработку двух установок химического осаждения из газовой фазы (одна — для пленок вольфрама, вторая — для пленок SiO₂/SiON/SiONGe), изготовление среднетокового и высокоэнергетического оборудования ионной имплантации, производство вертикальной установки высокотемпературного отжига пластин Ведущий инженер-технолог и кандидат химических наук Александр Овцын раскрыл тему разработки современного вакуумного оборудования для нанесения тонких плёнок различных материалов методами физического распыления. Александр привёл основные методы PVD, применяемые в установках разработки и производства НИИТМ, и на примере конкретных видов оборудования магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения продемонстрировал их основные технические характеристики и ключевые преимущества. Также спикер рассказал о кластерной системе магнетронного напыления из восьми модулей, которую специалисты НИИТМ разрабатывают в рамках комплексной программы развития электронного машиностроения 📸 НИИТМ Макс | Телеграм