Технический директор компании ЛАССАРД Николай Николаевич Алленов, про российские установки вырщивания методом вертикальной направленной кристаллизации (VGF) Часть 2/3 В 2025 году была завершена разработка установки выращивания монокристаллов арсенида галлия и германия методом вертикальной направленной кристаллизации (VGF). По сравнению с методом Чохральского технология VGF позволяет получать кристаллы с более высокой структурной однородностью и меньшим количеством дефектов, что особенно важно для ряда применений в микроэлектро- нике и фотонике Одной из особенностей нроссийской установки стала многотигельная конструкция, позволяющая одновременно выращивать три монокристалла в рамках одного технологического цикла. Получаемые слитки позволяют изготавливать пластины диаметром до 150 мм. Локализация производства по выращиванию кристаллодаст возможность производить в нашей стране лазеры для ВПК (в т. ч. ЛИДАР, наведение, дальномеры), фотоприёмные устройства и ИК-детекторы (ночное видение, системы наблюдения, спутниковая разведка), оптоэлектронику и квантовые технологии (микролазеры, квантовые датчики), космическую электронику (солнечные батареи на основе Ge, радиационностойкие компоненты), высокочастотную и СВЧ-электронику (радиолокация, связь 5G/6G) Максим Горшенин снял про наши установки видео, оно доступно к просмотру в сети Интернет на видеохотингах Уже сейчас оборудование проходит этап подготовки к промышленному внедрению Параллельно завершается разработка линейки оборудования для шлифования и полировки полупроводниковых пластин. В неё входят установки односторонней и двусторонней обработки, а также исполнения с индивидуальной и групповой загрузкой пластин диаметром до 200 мм. Опытные образцы уже изготовлены Сейчас ведётся отработка технологических процессов, подбор суспензий и формирование рецептов обработки, чтобы заказчики могли получать не только оборудование, но и готовые технологические решения При разработке оборудования ЛАССАРД стремится максимально использовать отечественные комплектующие там, где они доступны и соответствуют необходимым требованиям по качеству и надёжности. Тем не менее полностью локализовать такие сложные установки пока невозможно. Ряд специализированных компонентов по-прежнему закупается за рубежом Например, в установке выращивания монокристаллов сегодня использу- ются тигли из пиролитического нитрида бора зарубежного производства. При этом, компания параллельно наблюдаем за развитием российских производителей материалов. Насколько известно, компания «ООО «Вириал» завершает разработку аналогичной продукции, и рассчитываем в перспективе перейти на отечественные комплектующие В целом степень локализации будет расти по мере появления российских поставщиков высокотехнологичных компонентов Макс | Телеграм