Минпромторг заключил контракт на 1,475 млрд рублей с петербургской компанией «Научное и технологическое оборудование» (SemiTEq) на разработку отечественной установки молекулярно-лучевой эпитаксии Проект получил название «Цитадель», завершить создание опытного образца планируется до 31 октября 2030 года Новая установка предназначена для выращивания монокристаллических полупроводниковых слоев и формирования гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и мышьяка (InAlGaAs) Такие материалы применяются при производстве сложных полупроводниковых приборов, включая высокочастотную и оптоэлектронную компонентную базу Оборудование будет работать с пластинами диаметром 76 и 100 мм. По техническому заданию установка должна одновременно обрабатывать не менее пяти 76-миллиметровых или трех 100-миллиметровых подложек Одним из ключевых требований проекта стала максимальная локализация. Вакуумные камеры, насосы, молекулярные источники, вакуумная арматура, центральный контроллер и программное обеспечение должны быть российского производства. Использование зарубежных критически важных компонентов допускается только после отдельного согласования с Минпромторгом Сейчас прямого отечественного аналога установок такого класса фактически нет. «Цитадель» должна стать альтернативой промышленным системам французской Riber 49 и американской Veeco GEN200, которые применяются для молекулярно-лучевой эпитаксии Исполнителем проекта стала петербургская «НТО», основанная в 2001 году. Компания специализируется на оборудовании для электронной промышленности и уже выпускает установки молекулярно-лучевой эпитаксии, а ранее представила производственные системы для работы с пластинами диаметром до 150 мм При этом проект пока находится на стадии разработки: контракт предусматривает создание конструкторской документации и изготовление опытного образца. О серийном производстве новой установки речи пока не идет 📸 Скриншот Макс | Телеграм