Доставка EUV-установок ASML: - Каждая установка весит 180 тонн. - В разобранном виде она занимает до 40 транспортных контейнеров. - Для перевозки, преимущественно в Азию, требуются 20 грузовиков и три Boeing 747. - Для обслуживания оборудования специалисты ASML должны работать на месте. - Минимальные затраты на размещение и эксплуатацию EUV-оборудования — 1 млрд долларов, включая саму установку, транспортировку, регулярное обслуживание и прочие расходы.