Innovation & Research

Китайский производитель HISIGK готовит к отправке в Европу 17-ю экспортную литографическую установку Представители зарубежного заказчика посетили чистые помещения компании Цзянсу Хайсы Баньдаоти Кэцзи (Jiangsu Haisi Semiconductor Technology, HISIGK) в провинции Цзянсу и провели приёмочные испытания полностью автоматической литографической установки, подготовленной к отправке за границу. Согласно договорённостям сторон, после успешной приёмки оборудование сразу отправится покупателю; это станет 17-й литографической установкой, экспортированной компанией с 2024 года. Отдельно подчёркивается, что HISIGK не имеет отношения к HiSilicon, входящей в Huawei. Также в октябре в HISIGK завершились заводская отладка, приёмка и отгрузка ещё одной полностью автоматической установки для 200-мм пластин. Это оборудование предназначено для выполнения операций фотолитографического формирования рисунка на кремниевых пластинах Micro LED. Речь идёт о полностью автоматической установке совмещения с маской, рассчитанной на пластины диаметром 200 мм. Компания заявляет, что её ключевая команда располагает 15-летним опытом работы в области фотолитографии в зоне жёлтого света. В 2019 году HISIGK начала серийные поставки полностью автоматических контактных литографических установок с разрешением 1 мкм, в 2023 году вывела на рынок коммерческую степперную установку, а в 2024 году представила проекционные степперы с разрешением 350 и 500 нм. Сейчас HISIGK располагает двумя производственными площадками — в районе Сянчэн города Сучжоу и в Новом районе Тяньфу (Tianfu New Area) города Чэнду. Продуктовый ряд охватывает оборудование для одностороннего и двустороннего совмещения пластин диаметром от 2 до 12 дюймов; оно применяется в производстве MEMS, интегральных схем, полупроводниковых соединений, силовых приборов, в 3D-упаковке с TSV, а также в сегментах AR и Micro LED. #news #чипы #пром https://www.ithome.com/1/012/806.htm